本标准规定了低温傅立叶变换红外光谱法测定硅单晶中代位碳、间隙氧杂质含量的方法。本标准适用于室温电阻率大于0.1 Ω... 上一篇:GB/T 35281-2017 信息安全技术 移动互联网应用服务器安全技术要求下一篇:GB/T 35310-2017 200mm硅外延片