本标准规定了光掩模石英玻璃基板(以下简称石英玻璃基板)的术语和定义、要求、试验方法、检验规则及标志、包装、运输和贮存。本标准适用于半导体集成电路、光通讯、微机电系统(MEMS)、光电器件和发光二级管(LED)等光刻工艺中光掩模石英玻璃基板。...

上一篇：GB/T 34177-2017 光刻用石英玻璃晶圆
下一篇：GB/T 34179-2017 光伏玻璃 多因素耦合环境加速老化试验方法