NEMS传感器的研制与应用 作者：谭苗苗 著 出版时间：2017年版内容简介　　《NEMS传感器的研制与应用》概述了NEMS传感器的结构类型、加工工艺类型和常用的测试方案，并对目前国内外NEMS传感器研究取得的研究成果和发展现状进行了总结分析：针对NEMS传感器比较常见的场效应晶体管结构，详细阐述了两种不同的一维纳米结构组装NEMS器件的工艺方法，以及器件电路结构加工工艺等；并将硅纳米线场效应晶体管结...

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