团体标准　　T/CASAS 048—2025　碳化硅单晶生 长用等静压石墨　　Iso-static graphite for silicon carbide single crystals　　2025 - 04 - 23 发布 2025 - 04 - 23 实施　　第三代半导体产业技术创新战略联盟 发布　　目次　　前言 ................................................................................................................................

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