本文件规定了接触式与非接触式测量仪器操作的术语和定义、环境条件、外观要求、安全要求、操作流程、异常处理、使用维护与注意事项。本文件适用于接触式与非接触式测量仪器的操作规范培训和管理。 ... 上一篇:T/QGCML 4572-2024 高精度超洁净晶圆卡爪生产制造规范下一篇:T/QGCML 4567-2024 蒸发浓缩机组