本文件给出了热场发射电子枪灯丝的失效判断标准，并规定了热场发射电子枪灯丝的更换和调校操作流程等。本文件适用于应用于电子束光刻机、扫描电镜、关键尺寸扫描电子显微镜等设备仪器的热场发射电子枪灯丝的更换和调校，其它类型的电子枪灯丝的更换与调校不适用于本文件。 ...

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