微机电系统设计（MEMS）和原型设计指南作者：（美）库比 著出版时间：2014年版内容简介　　《高新科技译丛·微机电系列：微机电系统设计和原型设计指南》的目的是通过一个使用顶级计算机辅助设计工具进行布局布线和建模的MEMS设计体验指导学生们，以提供一个健壮的、标准多元晶圆制造工艺的设计。许多这样的工艺都有成熟的设计规则可以分离设计和制造挑战。如果遵循这些规则，学生们能够获得他们所设计的东...

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