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纳米和微电子机械系统  下载

360book.com  2016-03-01 00:00:00  下载

MicroWriter激光直写系统可实现15路激光同步书写,无需掩模板,,最高分辨率0.6um.速度达375mm2/min,基片尺寸1mm~230mm,高性价比,灵活,快速。适合微电子,半导体等研.....

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