基于MEMS技术的热梯度器件研究作者： 聂金泉 著 出版时间： 2019年版内容简介　　《基于MEMS技术的热梯度器件研究》提出了一种基于MEMS技术的热梯度器件，设计了一种新型梯度加热器，通过理论分析和数值模拟对器件的温度性能进行优化，并完成温度性能测试。《基于MEMS技术的热梯度器件研究》可供相关专业领域研究人员参考阅读，也可作为相关学院研究生以上师生的参考资料。目录第1章 绪论1．1 MEMS技术1．1．1 MEMS的概念1．1．2 MEMS的制造工艺1．1．3 MEMS的本质特征1．1．4 MEMS的应用1．2 微流控芯片1．2．1 微流控芯片的概念1．2．2 微流控芯片的应用1．3 微流控芯片的

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