现代高纯气体：制取、分析与安全使用作者：尹恩华 著出版时间：2015年内容简介　　《现代高纯气体：制取、分析与安全使用》从高纯气体与集成电路等的关系说明气体纯度的重要性。集成电路的制造包括成膜、刻蚀、掺杂和注入、平衡及清洗等，各流程无不需要各种高纯气体。高纯气体的制取是《现代高纯气体：制取、分析与安全使用》的核心。《现代高纯气体：制取、分析与安全使用》介绍国内外最新文献，包括：吸...

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