半导体薄膜技术基础 作者：李晓干 出版时间：2018年版丛编项： 微电子与集成电路设计系列规划教材内容简介　　本书对当前主要应用的薄膜技术及相关设备进行了深入浅出的介绍，主要包括作为*重要的半导体衬底的硅单晶材料学、薄膜基础知识、PVD技术、CVD技术及其他相关的薄膜加工技术，在对各种技术进行介绍的同时，还对各种技术所应用的设备进行简要介绍。本书提供配套电子课件。本书作为半导体薄膜技...

上一篇：Multisim 12 仿真在电子电路设计中的应用
下一篇：半导体材料和器件的激光辐照效应