微纳尺度制造工程 第三版出版时间：2011年版内容简介　　《微纳尺度制造工程（第三版）》是《微电子制造科学原理与工程技术》的第三版。《微纳尺度制造工程（第三版）》系统地介绍了微电子制造科学原理与工程技术，覆盖了集成电路制造所涉及的所有基本单项工艺，包括光刻、等离子体和反应离子刻蚀、离子注入、扩散、氧化、蒸发、气相外延生长、溅射和化学气相淀积等。对每一种单项工艺，不仅介绍了它的物...

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