微米纳米器件测试技术作　者： 张文栋 等编著出版时间： 2012内容简介　　《微米纳米器件测试技术》在总结国家“863”计划项目和国家自然基金（重点基金）项目研究成果的基础上汇编而成，系统介绍了微米纳米结构和器件的几何量、形貌测试表征方法以及微米纳米器件的动态特性、在线测试方法等，将一些最新观点、最新成果涵盖其中。本书可作为仪器科学与技术学科以及相关学科专业研究生的基础课程讲义，主...

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