微电子制造技术实验教程作　者： 王姝娅，戴丽萍，钟志亲 等出版时间： 2015内容简介　　《微电子制造技术实验教程》是面向微电子及相关专业的实验教程，以微电子器件制造过程为主线，重点阐述学生在微电子制造技术学习中必须掌握的基础知识和实验方法。第1、2章介绍清洗、氧化、扩散、离子注入、光刻、刻蚀、沉积等相关制造工艺的基础知识和基础实验，详细阐述各项单步工艺的实验原理、实验设备、实验...

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