MEMS可靠性作者：（日）田畑修，（日）土屋智由 著，宋竞 等译 东南大学 出版时间：2009-3-1丛编项：微纳系统系列译丛书　《MEMS可靠性》是国际上MEMS可靠性领域第一本专著，共分为两部分。第一部分论述MEMS材料的可靠性内容及主要表征方法，包括MEMS材料的可靠性，微纳压痕仪，鼓胀测试，弯曲测试，单轴张应力测试，片上测试；第二部分论述MEMS器件的可靠性，包括压力传感器可靠性，惯性传感器可靠性，RFMEMS可靠性和光MEMS可靠性...

上一篇：LED照明产品质量控制与国际认证 LED/OLED技术与应用丛书
下一篇：RFID应用指南—面向用户的应用模式、标准、编码及软硬件选择