书名: 压力传感器的设计制造与应用作者: 孙以材, 刘玉岭, 孟庆浩编著 出版日期: 2000-04-01简介: 本书分三大部分。第一部分介绍压阻型压力传感器的原理、弹性力学应力计算及芯片版图设计，并简要的讨论了晶体的能带结构及物理性质。第二部分以生产实践为主，介绍从硅片制备、半导体工艺、微机械加工到芯片封接与引线。第三部分既介绍压力传感器的技术特性、选用及各种热漂移补偿技术、信号...

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