晶圆键合手册作者： （德）彼得·拉姆 等编；安兵，杨兵 译出版时间： 2016年版内容简介　　《晶圆键合手册》主要内容包括：界面反应、键合电流、阳极键合所用的玻璃、键合质量的表征、真空密封腔体内的气压、阳极键合对柔性结构的影响、阳极键合过程中器件的电学退化、钠污染导致的退化等。目录第一部分 技术A．黏合剂和阳极键合第1章 玻璃料晶圆键合1．1 玻璃料键合原理1．2 玻璃料材料1．3 丝网印刷：...

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