微米纳米技术丛书·MEMS与微系统系列 生化MEMS器件作者： 王晓浩，唐飞，杨兴，王喆垚 著 出版时间：2015年版内容简介　　《生化MEMS 器件》选择了受到国家项目支持的几个技术主题，在 微型泵和微型阀、微悬臂梁生化传感器、微型FAIMS 、基于M。EMS的细胞操作与分析技术等几个方面，系 统介绍了国内外进展和我国的研究成果。这几个技术 主题从器件结构上和敏感技术上看，都有独到的特点 。本书的特点是综...

上一篇：微纳制造的基础研究学术著作丛书 柔性电子制造 材料、器件与工艺 尹周平，黄永安 编 2016年版
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